真空系统设备有很多种，但无论哪种真空应用设备都有一套排气系统来排除真空容器中的气体，以便在真空容器中获得必要的真空条件。例如，用于真空处理的容器通过管道和阀门连接到微型真空泵，当真空泵抽空容器时，容器上有真空测量装置。
由两个或多个串联真空泵组成的真空系统通常称为低真空泵，作为高真空泵的前级泵(或前级泵)，而最高真空泵称为主泵。真空系统，也就是说，它是最重要的泵，泵送容器中的极限真空和工作真空是主要的。泵送容器出口和主泵入口之间的管道称为高真空管道，主泵入口处的阀门称为主阀。
通常，前泵也用作真空泵。泵送容器和预泵泵之间的管道称为预真空管道，管道上的阀门称为预真空管道阀门。主泵出口和前级泵入口之间的管道称为前级管道。管道上的阀门称为前级管道阀门，软连接管道设置为隔离前级泵的振动。
总而言之，完整的真空系统包括以下组件：
抽水设备：例如，各种真空泵、真空阀、连接管道；
真空测量装置，如真空计和各种调节器。
其他部件，如疏水阀，除尘器，真空接力头，储罐等。
