微型真空泵是指具备两个气嘴，一个抽气一个排气，并且在抽气嘴处能够持续形成真空或负压，排气嘴处形成微正压，工作介质主要为气体，体积小巧的一种精密仪器。
这里所说的真空，是指在给定的空间内，压力值低于101325Pa，即低于一个标准大气压的气体状态。在真空状态下，气体的稀薄程度通常用气体的压力值来表示，该压力值越小则表示气体越稀薄。工业上有各种各样的真空泵，对于各种泵的性能测试，一般通用的参数都含有以下几个：
极限真空（通常称为真空度）：将真空泵与检测容器相连，放入待测的气体后，进行长时间连续抽气，当容器内的气体压力不再下降而维持某一定值时，此压力称为泵的极限真空。该值越小则表明越接近理论真空。
普通真空表测得的真空值（即：表压）为相对真空度，用负数表示，是指被测气体压力与大气压的差值。可以由下图看出。
抽气速率：在真空泵的吸气口处，单位时间内流过的气体体积。
传统工业用真空泵体积普遍很大，而且泵的工作需要特殊的真空泵油和润滑机油，介质气体内会含有大量油雾。随着仪器仪表工业的发展以及人们对环保的要求，各国的微型无油真空泵应运而生。不但如此，经过特殊的技术改进，除了单抽气的微型真空泵外，还形成了抽气打气两用的微型真空泵（即排气端可以产生比较大的正压），用于增压、充气、克服系统阻力等等，以及非常独特的水气两用微型真空泵，这种可以用于需要长期空转、干转等场合，不像一般的水泵空转或者干转就会损坏泵，水气两用微型真空泵空转、干转都属正常工作范畴。
微型无油真空泵的价格和真空度指标密切相关。真空度指标是各国生产商努力追求的主要指标，它反应了相应的机械加工、密封技术、材料科学等领域的整体实力，也是生产商获取利润的重要手段。要提高真空度指标，就必须有更高的密封条件，因此就需要采用尺寸更精确、材料性能更优异的零部件，于是生产成本就大幅度提高了。而且价格的增幅远远大于真空度指标的增幅。当然，抽气速率的提高也会引起价格的攀升，但其增幅不大。因此，选择微型真空泵时需要认真考虑真空度指标、抽气速率指标、自己的使用情况等，这样才能最好地兼顾使用性能和成本。
高真空度的微型泵由于采用了非常精密的密封零件，因此它对工作环境的清洁条件、温度参数、介质成分等均有更高的要求。
微型真空泵抽气口处或者抽排气口可以与外界大气形成压力差，同时不像大型真空泵需要润滑油和真空泵油，不会污染工作介质，而且体积小巧、噪音低、免维护，可以连续24小时运转，所以微型真空泵被作为动力装置，广泛用于气体采样、气体循环、真空吸附、加速过滤、汽车真空助力等等场合，在医疗、卫生、科研、环保等领域也都得到了广泛的应用。
