微型真空泵是薄膜（隔膜）泵的一种，分为水泵和气泵两类，人们常常称为微型水泵、微型气泵。用于采样时还称为采样泵。它是使用电机、压电等动力带动薄膜高速振动来泵送流体。最常用的动力装置是直流电机。泵腔的入口、出口分别安装有单向阀，膜片向后运动时，泵腔体积增大，产生真空，在压差作用下，进口阀打开，吸入流体；当膜片向前运动时，泵腔体积减小，腔内压力升高，在压差作用下，出口阀打开，排出流体，如此循环往复。微型薄膜泵的优点是效率高；运动机构与输送介质完全隔离，对介质无污染；非动密封，无泄漏；可靠性好；体积小、重量轻；具有自吸能力；不怕空转；无需润滑保养；自身噪音低。微型真空泵作为水泵使用时，无需灌泵，启动后立即吸水排水。它既能抽气又能抽水，无水时不怕干转。微型真空泵的优点尤其是小巧、无污染性、自吸性使它在环保、石油、石化、卫生、食品、医药、化工、科研等领域得到了广泛运用。微型薄膜泵的主要缺点是输送介质温度受薄膜性能限制，一些薄膜泵不适于高粘度流体，出口压力波动幅度大，有时需安装缓冲设备或者对泵进行特殊设计。近年来技术领先的微型泵生产商在电机、隔膜材质上取得了突破性的进展，薄膜泵的使用在发达国家得到了很大发展，逐步占领了其它泵的一些领域。相信随着技术的进步，薄膜泵在我国的运用必将日益广泛。
微型薄膜泵是利用曲柄把电机的旋转运动转换为薄膜的振动，由于机构的原理，不可避免地存在压力和流量的波动。在流量-时间曲线上，泵的瞬时流量以类似正弦曲线的波形变化。每分钟泵的瞬时流量叠加后称为平均流量。理论上的平均流量与泵腔和薄膜的大小、薄膜振幅、每分钟电机转速有关。实际使用中由于单向阀和其它部位可能存在泄漏、输送的流体具有压缩性、液体中溶解和蒸发的气体都会使泵的实际平均流量低于理论平均流量。微型薄膜泵的流量-转速曲线具有体积泵的特征，在外部阻力不变的情况下，流量基本与泵的转速成正比。当微型薄膜泵的排水流量增大时，其扬程（出口压力）会近似线性地下降。
在很多场合我们需要较为精确地调节微型真空泵的流量，常常采用以下两种方法。
降低泵的工作电压，常用于有刷电机。微型泵的电源首先要有稳压功能，功率要足够，保证在泵额定工况下电压稳定。降低泵的输入电压后，电机转速、流量也随之降低，而且比较接近线性关系。泵降压运行附带的好处是有利于延缓电机电刷的磨损、延长电机的寿命。但是要特别注意降压后泵能否正常运转。如果泵入口处真空度较高、下游管路阻力较大、泵的负载较大时，降压后容易造成电机无法启动，使电机温度上升，甚至烧毁，产生安全隐患。一般用降压来调节流量只适合于负载不大的场合，小幅度地调节流量。微型真空泵额定的流量是在规定的上下游阻力条件下测得的。用户的实际使用条件各不相同，需要经过试验确定允许的降压、调节流量范围。如果用户使用中，管路阻力、泵的负载经常变化，用降压来调节流量容易出现电机工作乏力甚至无法运转，不便于控制。
