1、工艺要求达到的真空度
微型真空泵的工作压力应该满足工艺工作压力要求，选型时真空度要高于真空设备真空度的半个到一个数量级。(如：真空工艺要求100Pa的真空度，选用微型真空泵的真空度至少要50Pa-10Pa)。一般如果要求绝对压强高于3300Pa，则优先选择水环式微型真空泵作为真空装置，如果绝对压强要求低于3300Pa，则不能选择水环式微型真空泵，选择旋片式微型真空泵或更高真空级别的微型真空泵作为真空获得装置。
2、工艺要求的抽气量(抽气速率)
微型真空泵要求抽气速率(也就是要求微型真空泵在其工作压力下，排出气体、液体，固体的能力)，一般单位：m3/h，L/S，m3/min。具体计算方法可以参考下面公式自行计算选型。当然，微型真空泵的选型是一个综合过程，涉及到相关经验等因素。
S=(V/t)×ln(P1/P2)
S为微型真空泵抽气速率(L/s)
V为真空室容积(L)
t为达到要求真空度所需时间(s)
P1为初始压强(Pa)
P2为要求压强(Pa)
3、判定被抽物体的成分
被抽物体是气体、液体还是颗粒。如果被抽气体中含有水汽或少量颗粒性和粉尘等杂质，慎选旋片式微型真空泵，如果真空度要求较高，则应加过滤装置加以过滤方能使用旋片式微型真空泵做真空获得设备。
要知道被抽物体是否有腐蚀，若含有酸碱腐蚀或有机腐蚀等因素的气体，应过滤或中和处理才能选旋片式微型真空泵。
被抽物体是否对橡胶或者油品有污染？针对不同的被抽介质要选用相应的真空设备，如果气体中含有大量蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装相应的辅助设备，如冷凝器、过滤器等。
除了以上因素，噪声、价格等其他因素要考虑在内。
